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德國萊寶真空泵SOGEVAC系列是單極油封式旋片泵。泵本身帶有防返油閥、氣鎮(zhèn)閥（選配）、出口過濾器、回油線路和和油冷卻回路。泵由直聯(lián)法蘭電機(jī)驅(qū)動(dòng)。
安裝在泵體中的偏心轉(zhuǎn)子）有三塊葉片，它們把泵分成三個(gè)隔室，每個(gè)隔室的容積隨轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)周期性的變化。
當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，抽空腔的進(jìn)氣部分容積擴(kuò)大，將氣體從進(jìn)氣口吸入，氣體經(jīng)過空氣濾芯，打開的防返油閥進(jìn)入腔泵。當(dāng)轉(zhuǎn)子進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)，葉片從吸入口將泵腔部分分開。這部分泵腔容積減少，氣體被壓縮。氣體在略高于大氣壓時(shí)經(jīng)過排氣閥從泵腔排出。
油在注入泵腔起密封、潤滑和泵冷卻的作用。壓縮氣體夾帶的油在油箱內(nèi)由于折轉(zhuǎn)而被初步捕集。而后在出口油霧分離器中被*過濾。于是，排氣中油含量下降至低于可見程度。
注：SOGEVAC系列泵不能抽空侵蝕性、腐蝕性、易燃或易爆氣體。
德國萊寶真空泵研究與發(fā)展領(lǐng)域編輯 所有工業(yè)品的生產(chǎn)與技術(shù)成果都必須經(jīng)歷廣泛、高投入的研究與發(fā)展階段。只有經(jīng)過仔細(xì)研究、測(cè)試和開發(fā)過程的新產(chǎn)品才能投入到生產(chǎn)或大規(guī)模應(yīng)用中。
應(yīng)用于各研發(fā)領(lǐng)域的真空設(shè)備、裝置及零備件，其尺寸和能力都是不同的。我們?yōu)闈M足這些研發(fā)用途而專門開發(fā)和生產(chǎn)特殊的專業(yè)產(chǎn)品。因此，我們能由始至終參與到客戶的整個(gè)生產(chǎn)工藝過程中，并獲得寶貴的經(jīng)驗(yàn)以使本行業(yè)的合作伙伴也能根本受益。
萊寶真空泵半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域編輯 半導(dǎo)體行業(yè)正持續(xù)迅速的發(fā)展著，為能滿足客戶對(duì)產(chǎn)品和工藝快速不斷變化的需求，我們與客戶之間的溝通從未象今天這樣如此重要。
真空設(shè)備在所有半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中發(fā)揮著極為重要的作用，針對(duì)特殊的生產(chǎn)要求必須選擇適合的真空設(shè)備。
過去的幾年里，為*半導(dǎo)體行業(yè)需求，我們縮短產(chǎn)品開發(fā)周期，更加迅速的推出新的產(chǎn)品，大大提高了我們的服務(wù)質(zhì)量。